Premium domains portfolio DN Epic Store - Mighty Pack Of Catching Domain Names Карта сайта Корзина В корзине: 0 товаров
На сумму: 0 руб.

Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники Авторы:Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова.
Издательство:Бином. Лаборатория знаний
Год издания:2010
Серия:Нанотехнологии
Страниц:392
Размеры:60x90/16
Цена:446 руб.
Купить

Аннотация к книге:
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических...

Заказывают также