Premium domains portfolio DN Epic Store - Mighty Pack Of Catching Domain Names Карта сайта Корзина В корзине: 0 товаров
На сумму: 0 руб.

Технология микроэлектронных устройств

З. Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств Авторы:З. Ю. Готра.
Издательство:Радио и связь
Год издания:1991
Серия:
Страниц:528
Размеры:60x90/16
Цена:391 руб.
Купить

Аннотация к книге:
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств.

Заказывают также