Premium domains portfolio DN Epic Store - Mighty Pack Of Catching Domain Names Карта сайта Корзина В корзине: 0 товаров
На сумму: 0 руб.

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования

М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря, В. И. Шевяков. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования Авторы:М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря, В. И. Шевяков.
Издательство:Бином. Лаборатория знаний
Год издания:2009
Серия:Электроника
Страниц:424
Размеры:60x90/16
Цена:412 руб.
Купить

Аннотация к книге:
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области

Заказывают также